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CMOS MEMS加工平台共性技术研究

2006年

应用技术

成熟应用阶段

成果简介

1、任务来源
CMOS MEMS加工平台共性技术研究是国家863计划。合同规定的目标为：利用设备和技术优势，开展硅基MEMS体加工、表面加工、CMOS MEMS的CMOS电路与MEMS器件一体化三维集成的系统设计与工艺设计、加工工艺的稳定性和一致性等硅基CMOS MEMS加工工艺的关键共性技术研究，解决其关键技术问题。最终获得拥有自主知识产权的CMOS MEMS设计、标准化加...

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