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几类信息薄膜及其应用的基础研究

2006年 基础理论
  • 成果简介
薄膜传感器具有体积小、精度高、重量轻、功耗低、响应快、性能稳定且易于集成等众多显著优点。国防及民用工业中需要大量高精度、高稳定性、耐恶劣环境的薄膜压力和温度传感器，低K介质材料作为新一代高性能集成电路互连材料，已成为当今微电子的研究热点。本课题组正是以此为突破口，采用新工艺和新方法研制高性能纳米传感和低K介质信息薄膜，课题对于解决微传感技术和集成电路制备技术所存在的问题具有十分重要的意义。
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