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薄膜应力对光伏红外探测器列阵特性和可靠性影响的研究

2004年 应用技术  中期阶段
  • 成果简介
  本项目的研究,用X射线晶体衍射,PN结电流电压以及有限元分析法等手段对制备探测器的材料本身以及红外探测器的单元—光敏元进行了应力分析,表明了应力的存在以及对器件性能影响的程度;研究了B离子注入后退火与不退火样品的载流浓度和迁移率的分布。...
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