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宽幅智能激光SLM光刻系统的研制与应用

2006年 应用技术  中期阶段
  • 成果简介
一、课题来源
1、江苏省高新技术计划
2、江苏省“六大人才高峰”A类资助（信息产业厅、人事厅）
3、国家自然科学基金项目
二、技术原理及性能指标
1、数字化：自主定义文件格式、矢量化光变图像软件、3D图像；
2、宽幅画：610mm×800mm，图像分辨率158dpi～2540dp...
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