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纳米精度激光激振测振仪（中科院）

2004年 应用技术  初期阶段
  • 成果简介
纳米精度激光激振测振仪研发一种用于MEMS结构德纳米精度激光激振测振技术。该技术采用光纤调制激光驱动技术使MEMS结构产生振动：采用国际前沿的光学正弦相位调制干涉技术测量其振动，同时采用实时鉴相技术、反馈技术提高系统的抗干扰能力，采用补偿技术解决电流调制半导体激光器波长引起的测振光源光强变化的问题。通过在不同激光调制驱动频率下，纳米精度的测量MEMS结构的振动位移，得到MEMS结构的谐振频...
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