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深亚微米NOR型闪存技术与工艺开发

2006年

应用技术

成熟应用阶段

成果简介

本项目属于超大规模集成电路制造技术及工艺的研究，是对深亚微米NOR型闪存技术及工艺的开发。解决了深亚微米闪存技术和制造工艺中的各项关键问题，开发出先进的NOR型闪存生产技术，并实现产品批量生产。闪存（FLASH）是一种非挥发性半导体存储器。由于其读取速度快，可反复读写以及非挥发性等优点，被广泛应用在包括通信电子、消费电子、计算机、和汽车电子等产品中。在2002年，本项目开始的时，全球能够生产NOR...

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