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纳米半导体薄膜材料加工测试平台（中科院）

2004年 应用技术  成熟应用阶段
  • 成果简介
（1）制备出了高质量3－4英寸的硫系化合物Ge_2Sb_2Te_5薄膜、纳米SOI等纳米半导体薄膜材料，并对其性能进行了初步研究，取得了一些很好的阶段性成果；
（2）制备出了满足生物传感器应用要求的ZnO压电薄膜，同时对其纳米线和纳米带的制备和性能进行了系统研究，取得了具有国际水准的创新性成果；
（3）建成了半导体薄膜材料结构和电学性能测试系统－纳米...
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