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感应式加热快速成膜处理装置

2004年 应用技术  中期阶段
  • 成果简介
本实用新型涉及一种感应式加热快速成膜处理装置，其特征在于它由感应加热快速升温-控温系统部分和工件输送装置部分构成，通过对感应加热快速升温-控温系统的控制和调整，可实现对具有不同材质和尺寸的工件进行局部加热和表面控温，通过对工件输送装置的控制和调整能够使工件以适当的速度一边自旋转一边由下至上（或由上至下）运动，从而通过局部加热完成对整个工件实施连续、均匀的加热过程，实现逐次对工件表面进行热处...
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