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高纯超细球形化硅微粉材料试验研究

2001年 应用技术  中期阶段
  • 成果简介
　　该成果通过实验研究得出超粉磨及分级工艺的优化技术、硅微粉提纯技术以及硅微粉的球形化技术，其制造原理为：将二氧化硅原料用机械法超细粉磨及分极，经酸洗水洗提纯，用交流高频等离子体、直流等离子体、碳极高温电弧法进行高温球形化。该成果主要用于大规模、超大规模集成电路的封装材料。...
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