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一种多晶硅氢化炉用炭/炭隔热屏的制备方法

2016年 应用技术  初期阶段
  • 成果简介
　　本发明公开了一种多晶硅氢化炉用炭/炭隔热屏的制备方法，制备过程为：采用炭布与短炭纤维网胎交替环向缠绕构成平面纤维，垂直方向引入增强纤维，制成三向结构隔热屏预制体，对三向结构隔热屏预制体进行化学气相渗透致密工艺后再进行树脂或沥青浸渍、炭化处理，高温纯化处理后再机械加工，对机械加工后的炭/炭隔热屏表面进行化学气相沉积涂层处理，即制得高纯度的炭/炭隔热屏。本发明工艺简单，周期短，成本较低，在不显著降...
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