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一种三维微力测量装置

2016年 应用技术  初期阶段
  • 成果简介
　　一种三维微力测量装置，包括一减震平台3，减震平台3上固定有电控三维位移平台1与载物台2，并将压电陶瓷位移平台4固定在电控三维位移平台1的Z轴上，硅微三维微力传感器6固定在压电陶瓷平台4上，硅微三维微力传感器6的惠斯通电桥12将电压信号输出至放大运算电路13，电压信号经放大运算电路13放大后输入到数字显示模块14中，可以同时进行μN级三维微力的测量，具有精度高、灵敏度高、线性好的特点。...
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