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采用激光曲面镜反射进行熔硅液位检测的装置及检测方法

2016年 应用技术  初期阶段
  • 成果简介
　　本发明公开的采用曲面反射镜线性光学放大的激光液面检测装置，单晶炉的顶部两侧对称开有两个开口，开口上分别设置有激光装置和CCD检测装置，激光装置和CCD检测装置中预设置信号处理装置。本发明利用该装置检测液面高度的方法，先建立模型模拟激光运行路线，计算得到符合要求的曲面镜多项式曲线函数，然后再将加工的曲面反射镜设置在CCD检测装置中，熔硅液面高度的变化就可以反应在CCD传感器上，就可以计算得到熔硅...
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