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基于Pt反应电极的气体传感器及温度补偿方法

2016年 应用技术  中期阶段
  • 成果简介
　　本发明公开了一种基于Pt反应电极的固体电解质气体传感器及温度补偿方法，所述传感器包括Pt反应电极、固体电解质晶片，该固体电解质晶片一个端面连接带第三引线的参比电极，其特征在于，所述Pt反应电极采用MEMS工艺制备在固体电解质晶片的另一个端面上，该Pt反应电极为带状结构，其两端头分设于固体电解质晶片端面过直径方向相对的边沿，并分别连接第一引线和第二引线；该带状电极沿固体电解质晶片端面的平面呈迂回...
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