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一种薄膜热电偶制造方法

2016年 应用技术  初期阶段
  • 成果简介
　　本发明属于温度测量技术领域，具体涉及一种薄膜式热电偶及其制造方法。本发明薄膜热电偶，其包括热电极A、热电极B和连接引线，其中，所述热电极A和热电极B的交接处为测温点，所述连接引线分别从热电极A和热电极B引出。其中，所述热电极A和热电极B通过真空离子溅射的方式成型在待测构件表面。另外，本发明还提供所述薄膜热电偶的制造方法。本发明薄膜热电偶由于通过真空离子溅射的方式在待测构件表面上直接溅射生成构成...
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