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基于微机电系统技术的密度传感器芯片及其制备方法

2016年 应用技术  中期阶段
  • 成果简介
　　本发明公开一种基于微机电系统技术的悬臂梁式密度传感器芯片及其制备方法，所述芯片为采用基于振动原理的梯形硅微悬臂梁结构，引线采用钛-铂-金梁式引线，增设钛-铂-金梁式飞线，采用梯形结构具有高灵敏度的优点，采用钛-铂-金梁式引线，和现有技术铝质引线相比具有耐腐蚀、耐高温、发热量小等优点，采用钛-铂-金飞线，实现引线的单入单出，保证了引线内电流处处相等，从而保证了其放入磁场后在整个MEMS振动悬臂梁...
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