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MEMS系统级设计中的一种变截面梁建模方法

2016年 应用技术  中期阶段
  • 成果简介
　　本发明公开了一种微机电系统（MEMS）系统级设计中的变截面梁建模方法，属于微机电系统设计领域。该方法的主要过程为：首先建立变截面梁的局部坐标系，然后根据结构力学和结构矩阵分析理论分别推导出局部坐标系下变截面梁刚度矩阵、阻尼矩阵和质量矩阵，并利用这些矩阵建立变截面梁的二阶动力学方程，最后利用硬件描述语言对二阶动力学方程进行编码，实现变截面梁的参数化系统级组件建模。本发明提出的针对宽度随长度方向线...
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