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一种具有微结构的聚偏氟乙烯压电薄膜的制备方法

2016年 应用技术  初期阶段
  • 成果简介
　　本发明属于微纳制造领域，涉及具有微结构的压电薄膜的制备方法：
　　1）在基底上溅射绝缘隔离层，在绝缘隔离层上溅射电极层；
　　2）将聚偏氟乙烯PVDF及其共聚物粉末作为溶质，溶解至混合溶液中，搅拌后，置于真空，密封放置；
　　3）将聚合物溶液旋涂于电极层上，得到聚合物层；
　　4）把旋涂好聚合物溶液的基底放置在热压印台上，将模具压向聚合物层的表面...
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