首页成果登记
注册 找回密码
国家科技成果网
  		•
热门搜索：  激光   高分子   石油   并网   纳米   太阳能光伏
扫描二维码关注国科网

登记 排行 政策 对接 转化 专栏
国家科技成果网 › 首页 ›成果 › 查看内容

一种固定晶圆的托盘装置

2016年 应用技术  成熟应用阶段
  • 成果简介
　　本实用新型涉及特征尺寸扫描式电子显微镜量测镜片装置技术领域，解决现有技术中采用特征尺寸扫描式电子显微镜对晶圆进行量测时，随着晶圆托盘高速运动，晶圆与固定装置固定不牢固，产生偏移，使得自动量测过程存在偏差的技术问题，通过提供一种固定晶圆的托盘装置，包括托盘、第一顶针、第二顶针和第三顶针，第一顶针的一端固定于托盘，另一端设置有弧形限位部，弧形限位部与晶圆的边缘面相适配，第二顶针的一端固定于托盘，第...
相关成果

标签云

相关机构

关于国科网   我们的资源   我们的服务   免责声明   常见问题    软件下载    成果登记   联系我们  
Copyright 2001-2020 All Rights Reserved© 国科网 版权所有
国家科技成果信息服务平台 主管单位：科学技术部火炬高技术产业开发中心
京ICP备09035943号-33 京公网安备110401400097
在线客服系统