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蓝宝石晶体生长技术

2002年 应用技术  中期阶段
  • 成果简介
项目的技术要点：采用电子束提纯材料、中频感应加热钼坩埚提拉法生长的蓝宝石衬底晶体具有如下优点：
一、适用于半导体衬底材料蓝宝石晶体生长设备的计算机控制设备系统(专利申请号01114652.4)。主要包括与由直联旋片真空泵和涡轮分之子泵构成的抽真空系统连接控制晶体生长真空室、真空室内极限真空度可达3×10^(-4)Pa、为晶体生长过程创造一个优质的洁净的超高真空环境。并...
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