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一种制备多晶硅铸锭用坩埚免烧结涂层的方法

2016年 应用技术  成熟应用阶段
  • 成果简介
　　太阳能光伏行业的迅速发展，加快了对多晶硅铸锭用坩埚涂层的研究。目前行业内大多数多晶铸锭采用的是坩埚喷涂后在1100℃左右的高温下烧结24小时，才能开始装料进行使用。高温烧结的主要目的是使坩埚表面形成一层致密的氮化硅涂层，避免坩埚与硅的直接接触和反应，防止漏硅、渗硅等现象。目前市场上主要有一种免喷涂的坩埚可以直接装料使用，但是因为成本高，市场上使用较少。现行喷涂工艺中使用的喷涂悬浮液主要是氮化硅...
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