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Ti/Al共掺杂类金刚石薄膜的可控制备及其性能研究

2016年

基础理论

成果简介

　　类金刚石薄膜（diamond-like carbon，简称DLC）具有高硬度、低摩擦系数、良好的耐蚀性、光学透过性和生物相容性等诸多优异的性能，是近年来广泛研究和开发应用的具有广阔产业化前景的一种新型碳基功能材料。特别由于其高硬度和低摩擦系数，在航空航天、精密机械、工模具表面改性和微电子机械系统等中的应用更显突出。然而，薄膜中高残余应力的存在，破坏了膜/基结合力，导致薄膜开裂、剥落，降低了其使...

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