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多元CdZnTe电容栅探测器模拟设计及制备工艺研究

2016年

应用技术

成熟应用阶段

成果简介

　　本项目基于权重势理论采用 ANSYS 软件设计出具有高的探测分辨率和灵敏度的电容性Frisch栅电极的结构以及绝缘层材料的参数。设计制备了电容性Frisch 栅CZT 探测器件，初步研究解决CZT 电容Frisch 栅探测器制备的关键工艺。研究了电容性Frisch 栅器件的能谱特性，比较了电容性Frisch 栅的器件结构（即L/H 值）对于探测器的性能的影响，优化了器件的结构参数。评价与比较电...

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