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用于可见-紫外检测显微镜的成像光学系统

2016年 应用技术  初期阶段
  • 成果简介
  一种用于可见-紫外检测显微镜的成像光学系统,沿其光轴方向依次包括第一透镜、第二透镜、第三透镜、…、直到第十八透镜,其中第一透镜至第四透镜组成第一镜组G1,其组合焦距为200mm,第五透镜至第十八透镜组成第二镜组G2,其组合焦距为4mm,物面到像面的放大倍率为1/50倍,物方视场半径为10mm,实现像方数值孔径为0.85。本发明全部采用高透过率的i线玻璃,成像质量接近完善成像,并且结构紧凑,完全...
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