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投影物镜波像差在线检测装置和检测方法

2016年 应用技术  成熟应用阶段
  • 成果简介
　　一种投影物镜波像差在线检测装置和方法，所述检测装置结构包括光源、旋转散射器、第一聚焦透镜、光纤阵列、第二聚焦透镜、散射光学元件、物面光栅板、像面光栅板、二维光电传感器、相移控制模块和计算机；旋转散射器是由支架、电动机和圆形漫散射光学元件组成，与多模光纤阵列共同用于将相干光或部分相干光的光源转化为非相干光。通过采集相移量分别为 、 、 、 、 、 、 、 、 、 的10幅干涉条纹图计算相位，消除...
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