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透射型大口径元件相位测量装置和测量方法

2016年 应用技术  成熟应用阶段
  • 成果简介
  一种透射型大口径光学元件相位测量装置和测量方法,准平行光经过透镜后形成的会聚球面波作为照明光,移动随机相位板,并在相位板后一定距离处用探测器记录相位板在不同位置时的衍射光斑,通过计算机进行迭代运算的方式获得相位板的复振幅透过率函数及其表面照明光光场分布,再将照明光的振幅和相位分布逆传播至透镜后表面处,求得该处光场分布;将待测光学元件放到透镜前表面,重复上述过程,求得透镜后表面光场分布。求出两次...
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