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应用于远距离的光束稳定装置和光束稳定方法

2016年 应用技术  成熟应用阶段
  • 成果简介
　　一种应用于远距离的光束稳定装置及稳定方法，包括置于光源与后续光学系统之间的传输光路中光束初稳定单元和光束精稳定单元。本发明能实现对光束长距离传输时出现的大尺度位置和指向偏移量的光束进行快速、高精度的稳定。光束稳定技术广泛应用于空间光通信，光刻机等高端领域。在空间光通信中，发射端光束指向偏移过大则会导致双方通信的失败；在光刻机应用中，照明光束的指向和位置稳定性很大程度制约着光刻质量，影响光刻产品...
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