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折反射式光刻照明中继镜组

2016年 应用技术  成熟应用阶段
  • 成果简介
　　一种用于光刻照明系统的折反射式光刻照明中继镜组，由折射透镜组、球面反射镜阵列、孔径光阑和平面反射镜组成，本发明具有结构简单，透过率高，成像质量高的特点，容易实现光刻照明系统和投影曝光系统的远心度匹配，可为掩模板提供均匀照明。光刻照明系统是光刻机的重要组成部分，为光刻机提供高均匀性照明、控制曝光剂量和实现离轴照明，从而提高光刻分辨率和增大焦深。中继镜组作为光刻照明系统的关键单元，将中间平面成像到...
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