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单幅载频干涉条纹相位提取方法及检测装置

2016年 应用技术  成熟应用阶段
  • 成果简介
　　一种用于大平面光学元件检测的单幅载频干涉条纹的相位提取方法及检测装置，该方法主要以虚光栅移相莫尔条纹和二维傅立叶变换为基础，从单幅载频干涉图中提取被测光学元件全口径范围内的二维波面相位信息，并提出了圆形口径元件面形均方根梯度值（GRMS）的计算方法。此外，基于本发明方法构建的平面光学元件面形检测装置可应用到光学加工车间的工序干涉检测中，本发明可满足对平面光学元件透射/反射低频面形偏差的检测，提...
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