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透射型光学元件分层相位成像的装置和方法

2016年 应用技术  成熟应用阶段
  • 成果简介
　　一种透射型元件分层相位成像的装置和方法，该装置由相干光源、扩束器、会聚透镜、待测光学元件、二维电动平移台、探测器和计算机组成，本发明相干光源发出的准平行光经过会聚透镜后形成的会聚球面波作为待测光学元件的照明光，在计算机的控制下驱动二维电动平移台移动待测光学元件，并在待测光学元件后一定距离处用探测器记录待测光学元件在不同位置时的衍射光斑，通过计算机处理获得待测光学元件各层的复振幅透过率函数及各层...
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