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抗非均匀反射扰动复色差动超分辨共焦显微传感机理研究

2016年 基础理论
  • 成果简介
　　该课题为国家自然科学基金青年项目课题，旨在探索适用于不同材料基底、混合材料、掺杂结构以及曲面浮雕结构的微米及亚微米尺度大台阶元件三维结构几何参数测量的新型传感机理，项目成果可服务于我国精密及超精密制造领域的微尺度计量与量值溯源，并为开发具有自主知识产权的国产高端测量装备提供理论基础和关键技术。研究工作揭示了抗扰动特性与线性区间扩展和高灵敏度响应特性的关系，描述了复色照明线性范围与高灵敏度响应特...
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