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基于线径60μm金刚石线切割太阳能级硅片技术的开发及应用

2016年 应用技术  中期阶段
  • 成果简介
　　《基于线径60μm金刚石线切割太阳能级硅片技术的开发及应用》项目该成果实现了如下技术创新：
　　（1）通过将槽轮涂覆硬度由94HS优化为98HS，槽型深度及夹角由160μm及40°改进为130μm及50°，提高了槽轮在切割中对钢线的支撑能力，减少了切割中钢线的磨损。
　　（2）通过冷却液在线循环过滤，降低了冷却液中硅粉含量，提高了冷却液质量。
　　（3）形成...
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