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基于MEMS的微麦克风实用化研究

2004年

应用技术

初期阶段

成果简介

中国科学院声学研究所申请863计划微机电系统主题的“基于MEMS的微麦克风实用化研究”项目，于2002年获得批准。参加单位有潍坊怡力达电声有限公司和中科院上海微系统与信息技术研究所。
我们利用中国科学院声学研究所在微传声器、超声电子学和薄膜技术的研究和技术的长期积累，调研了大量的文献、专利和资料，进行了硅微传声器的设计和原理分析，创新地提出圆形振动膜结构，制定了技术路线...

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