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基于先进温度控制技术的300mm立式炉研发及产业化

2016年 应用技术  成熟应用阶段
  • 成果简介
　　项目以市场为导向，以创新为动力，以产品和技术革新为突破口，产、学、研、用相结合，在国家重大专项方针的指引下，重点对300mm 90nm/65nm立式氧化炉及其决定工艺质量的关键零部件气体质量流量控制器（MFC）进行技术攻关。项目进行过程中，将对关键工艺进行研究，攻克各个技术难点，突破关键技术，这些关键核心技术主要表现在：温度均匀性控制、氧化层生成质量、设备稳定性、设备的结构需求、设备内部含氧量...
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