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硅微电容传声器

2004年 应用技术  初期阶段
  • 成果简介
“声学微机电系统”是声学所在知识创新工程试点中，面向世界科技前沿，整合院内外相关单位的技术优势，凝练而成的一个全新的学科方向，其研究成果在移动通信、无线接入网络传感器系统、医疗以及国家安全等方面具有重要的应用价值，发展前景十分广阔。为培育和支持这一新兴学科方向，中科院于2000年7月批准声学所承担“声学微机电器件与模块”项目的研制任务，声学所田静研究员任首席科学家，项目共设“硅微电容传声器...
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