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基于微加工技术的微纳集成制造原理及方法研究

2016年 应用技术  中期阶段
  • 成果简介
　　项目组在2011-2014年度，主要围绕微纳复合制造及其在微能源领域应用的科学问题和核心技术，在理论创新、实验探索以及新器件研发等多方面开展了兼具广度和深度的工作：提出了“以微米为骨架结构，?以纳米为功能结构”的硅基微纳集成制造方法，基于优化深刻蚀工艺DRIE建立了无掩模制备纳米森林的理论模型，以及用SEM图形三维重建的方法来进行多尺度微纳结构的数值化分析和表征并形成了模拟分析工具；实现了基于...
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