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全内反射原位照明装置及其控制方法

2016年 应用技术  初期阶段
  • 成果简介
　　一种全内反射原位照明装置及其控制方法，全内反射原位照明装置，包括激光光源、偏振态转换单元、第一反射镜、第二反射镜、直角导光棱镜和计算机，本发明通过计算机的控制所述的一维电机平移台和一维电机转动台的组合来精确控制第二反射镜的高度位置和角度状态实现了改变光线入射角前后样品表面的照明区域位置基本不变的目的。本发明装置结构简单紧凑，具有良好的应用前景。...
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