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高速旋转激光直写任意图形的方法

2016年 应用技术  初期阶段
  • 成果简介
　　一种高速旋转激光直写任意图形的方法，主要用于快速生产制造各种具有中心对称和非中心对称的具有任意分布的微纳图形器件。本发明首先构建一套极坐标激光直写系统，然后将待刻写的任意图形在极坐标下，以螺旋线轨迹等线间距分解为一组图像数据，最后在实际刻写过程中，通过反馈控制算法，动态调节相邻两刻写点数据发出之间的时间间隔，使得待刻写的某点的理论设计位置与其实际位置之间的差别趋近于0。本发明具有实现方法简单，...
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