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用于光刻机的能量探测装置

2016年 应用技术  成熟应用阶段
  • 成果简介
　　一种用于光刻机的能量探测装置，特点在于其构成沿光线前进方向依次是反射镜、积分棒、探测器、探测器信号处理电路、信号采集卡和计算机，所述积分棒的入射端面位于所述反射镜的焦平面，所述探测器的输出端接所述探测器信号处理电路的电流信号输入端，该探测器信号处理电路的输出端经所述信号采集卡与所述计算机的输入端连接。本发明采用反射镜将光路折转，可减小光刻机的整机高度。所述的探测器信号处理电路可对窄脉冲信号进行...
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