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可实现多孔径变化的小孔光阑部件

2016年 应用技术  成熟应用阶段
  • 成果简介
　　一种可实现多孔径变化的小孔光阑部件，包括光阑基板组件和多根支杆组件，本发明能够通过选用与光阑基板组件上铰接的支杆组件，改变小孔光阑的口径，能够方便的应用到光学设计中，本实用新型具有结构简单，加工方便的特点。投影物镜可变孔径的光阑，核心是控制孔径（NA）的大小。在曝光系统中，不同的成像需求对应不同的数值孔径，而且往往在一个光学系统中，需要两个甚至多个具有不同孔径的光阑，以往的设计是加工多片具有不...
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