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高效率斜双层光栅

2016年 应用技术  成熟应用阶段
  • 成果简介
　　一种用于1064纳米波长的TE偏振的垂直入射的-1级高效率斜双层光栅，该光栅的第一层材料是石英，第二层材料是Ta2O5， 基底是石英，两层光栅的深度相同。该光栅的光栅周期为950～954纳米，脊宽为441～445纳米，倾斜角 68～69度，光栅总深度为2046～2050纳米，当TE偏振光垂直入射时，其透射光 -1级衍射效率可高于91%。本发明TE偏振的垂直入射的石英-1级高效率斜双层光栅由电子...
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