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米量级光学元件的超高精度加工方法

2016年 应用技术  成熟应用阶段
  • 成果简介
　　一种米量级光学元件的超高精度加工方法，该方法利用环形抛光技术和磁流变抛光技术相结合，通过对不同加工工艺参数的优化组合，实现了对米量级光学元件的超高精度加工，该方法可以制造出反射PV值达到1/8波长，RMS值达到1/50波长的米量级光学元件。随着现代科学技术的快速发展，对应用于各种光学系统中的光学元件提出了越来越高的要求。通常情况下要求最终生产的光学元件具有高的面形精度。高的面形精度可以保证好的...
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