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干涉显微物镜光学系统

2016年

应用技术

成熟应用阶段

成果简介

　　一种干涉显微物镜光学系统，包括第一透镜组，第二透镜组，第三透镜组，第四透镜组，孔径光阑，第五透镜组，第六透镜组，参考面基板组，分光束平片组沿光轴自左向右顺序排列，第一透镜组至分光束平片组构成系统的物镜组E1；所述的第二透镜组的焦距为fS2，第三透镜组的焦距为fS3，物镜组的焦距为fE1，三者满足下列关系式：1.2<|fS3/fS2|<1.8，3<|fS1/fE1|<4，本发明干涉显微物镜在可见...

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