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平面镜干涉仪中动镜支撑机构扭转刚度的测量方法

2016年 应用技术  成熟应用阶段
  • 成果简介
　　一种平面镜干涉仪中动镜支撑机构扭转刚度的测量方法。把U型电磁铁安置于截面端平行于动镜支撑机构的位置，调节电磁铁的截面与支撑机构的气隙至0.1～0.2mm之间，测量气隙的值s。对电磁铁通电产生电磁吸力为Fe，电磁力的作用点与动镜扭转中心的距离（电磁力臂）已知为l，由此产生的电磁力转矩为：Me=Fel。动镜支撑机构绕系统质心转过倾角θ。通过激光干涉仪测量倾角θ。回复力产生的转矩为：Mr=kτθ，k...
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