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一种用于浸渍式碲镉汞液相外延的样品架

2016年 应用技术  成熟应用阶段
  • 成果简介
  一种用于浸渍式碲镉汞液相外延的样品架,该样品架采用多边形结构,底部设置用于上下搅拌的托板,通过在母液中旋转和上下运动实现母液的均匀化;样品架的主体采用高纯石墨制作,表面由石英垫片和氮化硼底部托板覆盖,能有效防止石墨材料产生碎屑并沾污母液;采用石英垫片还能有效地防止母液对衬底背面的粘附。所发明的样品架用于材料生长时,样品架对衬底进行固定的机构不浸入母液,在不经过高温烘烤条件下,外延后能对衬底或外...
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