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YAG透明陶瓷抗等离子体侵蚀机理研究

2016年

基础理论

成果简介

　　本课题主要围绕YAG透明陶瓷的抗等离子体侵蚀性能进行研究，经过三年的研究，掌握了YAG粉体的小批量化制备技术，并分别采用冷等静压成型、凝胶浇注法成型制备出了高质量的YAG透明陶瓷，尤其在等离子体刻蚀机用大尺寸和复杂形状YAG透明陶瓷的制备上取得了一定突破，直径235mm、厚度8mm的YAG透明陶瓷板在600nm处的透过率依然大于80%，1100nm处的透过率达到83%；直径205mm、厚度3m...

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