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基于液相外延技术制备高氮组分的铟砷氮薄膜的方法

2016年

应用技术

成熟应用阶段

成果简介

　　基于液相外延技术制备高氮组分的铟砷氮薄膜的方法。该方法将熔源过程分为两次，第一次熔源将熔源材料In和InAs高温长时间充分熔融得到初始熔源，第二次熔源时加入InN粉末，通过优化InN粉末的放置方式，既增加了InN粉末在初始熔源中的溶解量及其分布的均匀性，又有效地缩短了第二次高温熔源时间，减小了氮元素的挥发量，最终获得了含氮量为0.66％的InAs1-xNx薄膜材料。该发明的优点是制备工艺简单，...

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