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计量型扫描电镜及双探针扫描探针显微镜标准测量装置的建立

2016年 应用技术  中期阶段
  • 成果简介
　　项目研制了基于纳米位移台驱动样品扫描的计量型扫描电子显微镜，实现了电镜测量量值到激光波长基准的溯源，解决了扫描电镜实时校准的难题。研制了集激光干涉计量与位移驱动于一体的电镜真空腔门，提高了测量稳定性；提出并实现了电镜腔内分光的两轴激光干涉仪测量光路，优化了激光干涉计量系统的布局，大幅减小了阿贝误差和环境扰动对干涉测量的影响。研制了超声电机共面驱动的机械位移台和压电陶瓷位移台构成的层叠式双位移台...
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