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基于原子力显微镜的纳米机械加工基础理论研究

2016年 基础理论
  • 成果简介
  本项目在国家自然科学基金项目的资助下,基于通过调控原子力显微镜探针与工件间作用力来精确控制加工深度的新思想,开展了基于原子力显微镜的纳米机械加工基础理论的研究工作,其创新性工作主要体现在:
  1、提出了纳米尺度下通过调控刀具与工件间作用力来精确控制加工深度的新型加工原理,建立了适用于加工金属纳米结构的作用力-加工深度的理论模型,为采用原子力显微镜进行纳米结构的机械加工提供了理论支...
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