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超精密机械振动控制系统

2016年 应用技术  成熟应用阶段
  • 成果简介
　　本项目根据刻划精度确定了大型高精度衍射光栅刻划机容许振动标准，制定了综合的微振动控制方案，研发了具有承载大、刚度低，阻尼可调等特点的空气弹簧隔振系统，对空调等动力设备实行高效的主动隔振，通过仿真分析手段，采取了合理可行的基础形式，从而有效消减了中高频的振动。从容许振动标准到光栅刻划机隔振、动力设备隔振、基础减振，本项目配合刻划机上部装置的研发进度，层层推进，最终完成了“大型高精度衍射光栅刻划机...
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