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22-14纳米集成电路关键工艺核心技术及应用

2016年 应用技术  成熟应用阶段
  • 成果简介
　　本项目属于电子与通信技术领域。集成电路制造是国家发展电子信息技术的重要基础，是建设现代化信息社会的基石，也严重影响国家的信息安全。集成电路制造的基本技术特征是实现核心器件尺寸的微缩来提高电路集成密度。长期以来，我国处于比较落后的状态，经常被动花费巨资引进国外先进技术。中科院微电子所联合国内清华大学、复旦大学、中科院上海微系统所等单位共同承担了国家02科技重大专项 “22纳米集成电路先导工艺技术...
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